常熟市京骁洗眼器有限公司

主要生产销售经营:洗眼器,09S304-18组合洗眼器,不锈钢洗眼器09S304-P18,推车洗眼器,09S303-68,09S304-17,09S304-39,

地址:梅李、海虞、古里、沙家浜、支塘、董浜、尚湖、辛庄

联系人:李生,电话:13564435883(微信同号)

 

集成电路厂在使用洗眼器方面有什么不一样的吗?

集成电路厂需配备洗眼器
集成电路制造使用氢氟酸(HF)、光刻胶溶剂等剧毒物质,HF渗透性强且接触后可能延迟至24小时引发低钙血症。根据SEMI S2标准,以下洁净室及附属区域需定制化洗眼方案:

光刻区
显影工序使用四甲基氢氧化铵(TMAH),2.5%浓度可致角膜坏死。因洁净室层流要求,洗眼器需嵌入式安装于工作台侧面,采用无尘设计(如不锈钢护盖)。参考华鑫微纳案例,光刻间配备便携式洗眼器(压力罐5L),保障15分钟持续水流。

刻蚀与清洗区
干刻区域接触氯气、三氟化氮,湿刻区使用氢氟酸-硝酸混合液。该区洗眼器需满足双重认证:ANSI Z358.1 + SEMI F73(防静电标准)。建议采用落地式复合洗眼器(如   型),配备氟离子中和剂(如六氟灵)作为预冲洗介质。

CMP(化学机械抛光)车间
二氧化铈研磨液pH达11.5,高压喷射抛光时易喷溅。设备周边需设倾斜式洗眼喷头,适应操作员坐姿工作场景。根据广西皖维采购要求,洗眼器材质必须为316不锈钢,防止研磨颗粒磨损。

化学品供应站
高纯度氨水、异丙醇(IPA)储罐区安装防爆洗眼器,电气部件符合标准。管道接口采用VCR密封,杜绝泄漏(参考核级洗眼器规范)。

特气间与硅烷站
砷烷、磷烷等气体接触水分生成强酸,洗眼器需集成负压抽吸装置,启动时自动隔离污染空气。例如徐大堡核电项目要求,洗眼器附带合格检测报告。

 

标准型洗眼器说的是哪种?是复合式的,还是立式的?

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